
Die VTI Beschleunigungs-Sensor-Elemente werden in leistungsfähiger Silizium-Bulk-Mikromechanik Technologie gefertigt. Der Mess-Biegebalken hat einen eingebauten mechanischen Überlastschutz und misst über seine Doppelkapazität positive und negative Beschleunigungen. Diese Konstruktion sorgt für ausserordentliche Zuverlässigkeit und unerreichte Genauigkeit, Stabilität und Lebnsdauer.
Das Prinzip ist einfach und langzeitstabil. Es beruht auf der Veränderung des Luftspalts zwischen zwei ebenen Flächen. Die Kapazität oder Ladungsspeicherfähigkeit eines Plattenpaares hängt dabei von der Luftspaltbreite und der Plattenfläche ab und kann somit für sehr kleine Messbereiche verwendet werden.
Digitale 1-, 2- und 3-axis Beschleunigungssensoren (SIL)
SCA3060 Digital Low Power 3-axis Beschleunigungssensoren
SCA610 Analoge 1-achsige Beschleunigungssensoren
Schock und Beschleunigungs Sensor