Neigungssensoren

MEMS-Technologie

Die Neigungs-Sensor-Elemente werden in leistungsfähiger Silizium-Bulk-Mikromechanik Technologie gefertigt. Der Mess-Biegebalken hat einen eingebauten mechanischen Überlastschutz und eine mechanische Dämpfung. Über seine Doppelkapazität misst der Sensor die positive und negative Neigung je Achse. Die beschriebene Abhängigkeit der Differentialkapazität folgt einer Sinusfunktion F=m*a=m*g*sina.

 

Aus dieser Konstruktion ergeben sich einzigartig präzise MEMS - Neigungssensoren mit sehr hoher Zuverlässigkeit und einer bisher unerreichten Genauigkeit, die sich durch Stabilität und Lebensdauer auszeichnet.

 

Die Neigungs-Sensoren sind vollständig kalibriert.

 

Anwendungen

  • Platform-Nivelierung
  • Konstruktionslaser
  • Überlastschutz bei Kränen
  • Justierung
  • 360° Neigungsmesser mit RS485-Schnittstelle und Schaltausgang

Vorteile Bulk-MEMS

Vorteile der Murata MEMS Technologie

Präziseste MEMS Neigungssensoren

  • Gleiche Performanz aller Achsen
  • Hohe Stabilität über Zeit und Temperatur

 

Zuverlässigkeit

  • Extrem hohe mechanische Schockfestigkeit (> 20.000 g) 
  • Mechanisch gedämpftes System
  • Kein "Sticking" Problem
  • Umfassender digital aktivierbarer Selbsttest des Sensorelements und der Verbindungen
  • Keine Parameterdrifts durch mechanischen Schock

 

Einfach anzuwenden

  • Werkseitig kalibrierte 8 und 12 Pin Plastik Dual In-Line SMD Komponenten
  • Keine Kalibrierung
  • Keine Programmierung
  • Interne Temperaturkompensation
  • Internes Temperatursignal über SPI auslesbar
  • Selbstdiagnose und Verbindungsdiagnosefunktion
  • Digital aktivierbarer elektrostatischer Selbsttest des Sensorelements
  • Analoger ratiometrischer Spannungsausgang
  • Parallel dazu digitaler Ausgang (SPI)

Features

  • 1- und 2-Achsen Sensoren
  • Arbeitsbereich bis 360°
  • Auflösung besser +/- 0,0004°
  • Langzeitstabilität besser 0,014°
  • Temperaturbereich von -40... +125°C
  • Geringes Rauschen <15µg/Sqr(Hz)  ~ 0,001°
  • Einfache +5V Betriebsspannung

Robuster 16Bit digitaler Neigungssensor

Der neue einachsige Neigungssensor SCA830-D07 von VTI mit digitalem Ausgang (SPI-Schnittstelle) basiert auf VTI’s kapazitiven 3D-MEMS Automotive Digital Platform.

  • Messbereich +/-90° 
  • Auflösung 16 Bit
  • Im Messbereich von +/-3° - Empfindlichkeit bei typisch nur 7 arcsec
  • Betriebstemperatur von -40°C bis +125°C 
  • Versorgungsspannung 3,3V. 
  • Entsprechend Automotiv-Standard AEC-Q100
  • Selbstdiagnosefunktion
  • Dual Flat Lead (DFL) Gehäuse (7.6 x 3.3 x 8.6 mm (w x h x l))

 

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Präziser und robuster 2-Achsen Neigungssensor

Der SCA100T von Murata ist ein hochgenauer und sehr robuster 2-Achsen Neigungssensor in MEMS-Technologie. Der Mess-Biegebalken hat einen mechanischen Überlastschutz und eine mechanische Dämpfung. Der Sensor ist komplett kalibriert und wurde für den Einsatz in robusten  Applikationen, wie Automobile, Baufahrzeuge oder andere Applikationen entwickelt.

  • Messbereich 30°, 90° und 360°
  • Analoge Auflösung besser +/- 0,0025°
  • digitale Auflösung 11 Bit ( 0,09°)
  • Temperaturbereich von -40 ... +125°C
  • Interner Temperatursensor / temperaturtabilisiert
  • Hohe Stabilität über Zeit und Temperatur
  • Extrem hohe Schockfestigkeit (>20 000g)
  • Module sind verfügbar

 

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Product

No.

of axis

Range(g)

Signal bandwidth

(Hz)

Output

type

SCA100T-Serie

2 (x/y)

±30º, ± 0.5 g

±90º, ±1g

18

Analog/Digital

SCA100T-D07

2 (x/y)

± 12 g

400

Analog/Digital

SCA103T-Serie

1 (x)

±15º, ±0.26g

±30º, ±0.5g

18

Analog/Digital

SCA103T-D09

1 (x)

± 2g

18

Analog/Digital

SCA61T-Serie

1 (x)

±30º, ±0.5g

±90º, ±1g

18

Analog/Digital

SCA830-D07

1 (x)

±90º, ±1g

6,25

Digital/SPI

SCA1000-D01

2 (x/y)

±1.7g

50

Analog & SPI

SCA1020-D06

2 (y/z)

±1.7g

50

Analog & SPI

SCA1000-N1000070

2 (x/y)

±4g

115

Analog & SPI

SCL1700-Series - 2-achsiges Sensor-Module mit analogem Ausgang

  • Messbereich ±10° (X- und Y-Achse)
  • Hervorragende Langzeitstabilität
  • Hohe Schockfestigkeit
  • Kompatible zu anderen am Markt befindlichen Modulen

 

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